Analyse et évaluation de la microstructure des matériaux semi-conducteurs

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Présentation du service

Avec le développement continu des circuits intégrés à grande échelle, le processus de fabrication des puces devient de plus en plus complexe, et la microstructure et la composition anormales des matériaux semi-conducteurs entravent l'amélioration du rendement des puces, ce qui pose de grands défis à la mise en œuvre de nouvelles technologies de semi-conducteurs et de circuits intégrés.

GRGTEST fournit une analyse et une évaluation complètes de la microstructure des matériaux semi-conducteurs pour aider les clients à améliorer les processus de semi-conducteurs et de circuits intégrés, y compris la préparation du profil au niveau de la plaquette et l'analyse électronique, l'analyse complète des propriétés physiques et chimiques des matériaux liés à la fabrication de semi-conducteurs, la formulation et la mise en œuvre du programme d'analyse des contaminants des matériaux semi-conducteurs.

Portée du service

Matériaux semi-conducteurs, matériaux organiques à petites molécules, matériaux polymères, matériaux hybrides organiques/inorganiques, matériaux inorganiques non métalliques

Programme de service

1. La préparation du profil au niveau de la plaquette de puce et l'analyse électronique, basées sur la technologie du faisceau d'ions focalisés (DB-FIB), la découpe précise de la zone locale de la puce et l'imagerie électronique en temps réel, peuvent obtenir la structure du profil de la puce, la composition et d'autres informations importantes sur le processus ;

2. Analyse complète des propriétés physiques et chimiques des matériaux de fabrication de semi-conducteurs, y compris les matériaux polymères organiques, les matériaux à petites molécules, l'analyse de la composition des matériaux inorganiques non métalliques, l'analyse de la structure moléculaire, etc.

3. Formulation et mise en œuvre d'un plan d'analyse des contaminants pour les matériaux semi-conducteurs. Ce plan permet aux clients de comprendre pleinement les caractéristiques physiques et chimiques des polluants, notamment : l'analyse de la composition chimique, l'analyse de la teneur en composants, l'analyse de la structure moléculaire et d'autres caractéristiques physiques et chimiques.

Articles de service

Servicetaper	Servicearticles
Analyse de la composition élémentaire des matériaux semi-conducteurs	l Analyse élémentaire EDS, l Analyse élémentaire par spectroscopie photoélectronique à rayons X (XPS)
Analyse de la structure moléculaire des matériaux semi-conducteurs	l Analyse du spectre infrarouge FT-IR, l Analyse spectroscopique par diffraction des rayons X (DRX), l Analyse par résonance magnétique nucléaire (H1NMR, C13NMR)
Analyse de la microstructure des matériaux semi-conducteurs	l Analyse de tranches par faisceau d'ions doublement focalisé (DBFIB), l La microscopie électronique à balayage à émission de champ (FESEM) a été utilisée pour mesurer et observer la morphologie microscopique, l Microscopie à force atomique (AFM) pour l'observation de la morphologie de surface